(1)肥皂泡法:在疑似点擦拭肥皂液，检查是否有气泡，从而区分SF6气体是否泄漏。

优缺点：监测方法简单明了，不需要昂贵的仪器设备，但监测精度差，监测片面，监测周期长，不适合普测。

(2)包扎法:在疑似点将塑料包装袋捆扎，静放标准长度后，用定量分析仪监测捆扎位置SF6气体浓度值，判断是否漏气。

优缺点：可完成定量分析和监测，但很容易受到工作温度、气压、塑料包装袋体型、检测设备等的影响。

(3)真空方法：对于未充气的SF6气体绝缘配电设备，机械设备各部分真空至约133Pa，静置4h以上，监测真空度是否降低，确定是否有漏气。

优缺点：主要用于出厂监测，不能完成带电检测，应用限制较大。

(4)卤化物测定方法:利用金属铂的卤素效应来确定检测点是否漏气。

优缺点：泄漏点的泄漏率、气体浓度值等主要基本参数可定量分析计算，测量精度不高。

(5)超声波法：当温度和压力相同时，待测气体浓度值可转换为混合气体平均声速的问题。采用相位差法测量声速，即在发送超声波的同时开始脉冲记数，直到监测回波信号的范围值超过一定阈值，然后乘以记数周期获得超声波传输时间，固定传输距离除以此时间为声速。

优缺点：测量精度受振动、噪声和超声波在气体介质中衰减的影响较大。

(6)声波法:利用SF6气体中声音的传播小于大气中的传播特性。

优缺点：监测方法简单明了，但精度很低，受SF6气体在区域环境中的比例制约。

(7)气敏半导体法:利用气敏半导体吸收气体后电阻值的变化来判断吸收气体的类型和浓度值，从而判断是否有泄漏。

优缺点：应用历史长，技术应用相对性完善，监测精度好。

(8)电化学法:用电化学气体探测器测量电流值，间接测量被检位置周围区域环境中SF6气体的浓度值。

优缺点：测量精度高，但传感器容易饱和，随着测量精度的提高，零提高而增加。

(9)热导探测器方法：根据不同的蒸汽，热敏元件的电阻值变化不同，监测电路中的电流也随之变化。SF6蒸汽浓度值可根据电流变化值和蒸汽的热导系数计算。

优缺点：监测结果受气流稳定性干扰较大，监测结果不直观，必须计算分析，不适合现场使用。

(10)示踪法:利用SF6汽体的吸附特性，添加可被SF6分子吸附的物质，间接测量SF6汽体的浓度值。

优缺点：监测高精度，必须使用辅助汽体，仅限于实验室科学研究，不能在现场实际操作。

(11)湿敏传感器方法：利用温湿度变化和变化与泄漏速率呈正相关的特点，确认泄漏速率和严重性。

优缺点：对温度、湿度传感器精度要求高，且无典型应用实例，仅处于理论基础研究环节。

(12)紫外线电离法：根据检测仪器的输入和输出波型判断是否有泄漏。输出波型的滞后时间意味着泄漏的SF6量。

优缺点：泄漏环节可根据波形直观反映，测量精度仍有待提高。

(13)激光显像方法：将激光发送到检查位置，将激光反向传输到激光摄像头显像系统。SF6蒸汽体验吸收激光能量，并利用反向传输激光差引起的显像差来判断是否泄漏。

优缺点：属于简单的视觉监测，监测结果精度高，但激光成本较高，体型较大，不适合现场监测。

(14)红外成像方法：SF6蒸汽的使用比空气对指定波段的红外线具有更强的吸收选择后，应用于散光成像技术进行成像。当SF6汽体出现在监测范围内时，由于SF6汽体对10.3~10.7μm波段的红外光具有较强的吸收功能，因此由于吸收功能，反射到检测仪器的红外能量明显减弱，SF6汽体在分析仪屏幕上是否漏气。